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硅粉氮化爐
高端氮化硅粉體燒結爐具有H2安全保護、防竄氣技術 、多段溫度曲線設定，多種氣體流量自動精準控制（無需人工調(diào)節(jié)）、脈沖式充氣、氣體循環(huán)控溫、發(fā)熱體衰減檢測、發(fā)熱體漏電監(jiān)測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產(chǎn)。
氮化硅氣氛壓力燒結爐
非接觸式高溫測量設計、具有真空系統(tǒng)過濾保護與獨特的脫蠟系統(tǒng)及尾氣處理設計。應用氮化硅等非金屬陶瓷材料進行脫成型劑、氣壓燒結、產(chǎn)品致密化等。
陶瓷基片爐
陶瓷基片爐具有高穩(wěn)定性、高人性化、低維護的特點，采用非接觸式高溫測量、真空系統(tǒng)過濾保護、獨特尾氣處理設計。主要用于氮化硅/氮化鋁流延基片等先進材料進行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應用于航天航空、電子電器半導體等領域。
碳化硅重結晶燒結爐
碳化硅陶瓷制品重結晶燒結，同時還可兼容無壓燒結以及反應燒結，為您的生產(chǎn)提供更多可能，滿足不同工藝需求。
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